在ＳＩＭＯＸ材料的背面成功地制备了多孔硅层，再在正面故意注入１×１０＾１５ｃｍ＾－２剂量的铜杂质。经９００℃退火，二次离子质谱测试表明铜杂质能穿过埋层ＳｉＯ２并在背在......